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Die Ionen-Mikroskopie (IM) ist eine Spezialanwendung der
Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS), die in
Kapitel 4.4 beschrieben wird. Bei dieser Technik wird eine
Probenoberfläche mit einem Primärionenstrahl
beschossen, wodurch sekundäre Ionen aus der Probe
erzeugt werden, die in einem Massenspektrometer analysiert
werden können. Wenn der Sekundärionennachweis
ortsaufgelöst erfolgt, kann man mit SIMS ein Abbild
bestimmter Elemente der Probenoberfläche erzeugen und
so laterale Elementverteilungen direkt visuell darstellen.
Mittels rechnergestützter Methoden lassen sich diese
digitalen Bilder auswerten und weiterverarbeiten, um zum
Beispiel dreidimensionale Konzentrationsverteilungen oder
Isotopenverhältnisprofile zu berechnen.
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